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'關鍵字: 光刻工藝'
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光刻膠及
光刻工藝
流程
MEMS)、太陽能光伏、微流道和生物芯片、光電子器件/光子器件、封裝⑥
光刻工藝
流程⑦光刻質量要求光刻的質量直接影響到器件的性能,成品率和可靠性。1....
2017-08-23 10:25:14
光刻膠及
光刻工藝
流程
系統、太陽能光伏、微流道和生物芯片、光電子器件以及封裝。? ? ? ?
光刻工藝
流程:前處理——》涂膠——》軟烘烤——》對準曝光——》PEB——》顯影...
2016-08-23 16:51:39
SU-8光刻膠產品性能及
光刻工藝
介紹
基底相比,金屬襯底上的SU-8工藝更有利于微細電鑄工藝。膠膜結構質量受
光刻工藝
,如基底前處理、勻膠、前后烘、曝光、顯影等環節影響,其中顯影操作是光刻...
2014-09-30 10:16:50
微結構制備
工藝 ? PDMS芯片微結構尺寸取決于其注塑模具,普通紫外
光刻工藝
加工的尺寸最細可到2um,由于PDMS芯片材質的透氣性、透光性和生物相...
2024-03-28 06:45:07
汶顥股份參展南京2019年ESEE會議
專注微流控配套芯片與儀器的開發,在展會呈現了一系列的新款產品。例如,為
光刻工藝
制作微流控芯片設計的顯影機,解放操作人員的雙手,讓光刻顯影變得簡單易行...
2019-04-18 09:34:40
基于微流控液滴形成技術的聚乙烯醇微球制備
bricatedmicrofluidicchip的通道寬度相同。采用軟
光刻工藝
制備SU-8陽模。將適量PDMS前聚體與固化劑按10∶1的比例攪拌混合...
2018-11-07 10:06:20
光刻技術首次繪出銀納米結構 為光學計算機研發開辟新途徑
以作為純光學數據處理的基礎材料,但要實際應用還需要進一步細化銀納米結構
光刻工藝
。...
2017-08-09 14:34:17
微流控芯片的制作與修飾
膜對準光刻,所以叫 Mask Alignment System.一般的
光刻工藝
要經歷硅片表面清洗烘干、涂底、旋涂光刻膠、軟烘、對準曝光、后烘、顯影、...
2016-06-14 14:42:59
SU 8光刻膠系列
比高的微結構與微零件是微加工領域的一項新技術。 ?SU-8光刻膠的
光刻工藝
? ?????? 將SU-8光刻膠組分旋涂在基材上,施涂厚度...
2016-04-14 11:30:20
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