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行業資訊
壓電微閥泵的特點
通過MEMS方法在硅片上刻蝕出閥的位置,然后安裝壓電晶片,最大流速能達到100
nL
/min
缺陷:
加工方法復雜
閥泵死體積大
Sensor Actuators A,1990,21:203-206
點擊次數:
更新時間:2015-01-12 14:11:30 【
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